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概要

HarmonicDrive

51マスク･レチクル製造装置ウェハ製造装置ウェハプロセス装置組立装置検査装置ワーク搬送装置Mask and reticule manufacturing equipmentWafer fabrication systemsWafer processing systemsAssembly systemsInspection systemsWork transfer systems搬送装置各部位置決め駆動インデックステーブル直動テーブルワーク反転装置テンションコントロール装置ハッチ開閉駆動Transfer systemsPositioning driveIndexing tablesDirect transmission tablesWork reversing machinesTension controllersHatch opening/closing drive半導体製造装置 Semiconductor Manufacturing SystemsCSFSHDSHFHPGPHPGHPFHP-FSHAFHA-C miniFHA-CRSF superminiRSF-B miniRSFRHRP-BLALAHKDU光分析装置三次元測定器金属引張試験機土柱耐力試験機Photometric equipmentThree-dimensional measuring instrumentsMetal tensile test machinesSoil-column yield strength test machines搬送装置各部位置決め駆動プリズム位置決め駆動インデックステーブル直動テーブルワーク反転装置Transfer systemsPositioning drivePrism positioning driveIndexing tablesDirect transmission tablesWork reversing machines測定・分析・試験機器 Measurement, Analytical and Test SystemsCSFSHFHPFHP-FFHA-C miniRSF superminiRSF-B miniRH三次元マニピュレータX線撮影・CT・NMR装置X線フィルム現像機と取出し機手術援助ロボットThree-dimensional manipulatorsX-ray photographing and CT-NMR systemsX-ray film developing and take-off machinesSurgical operation assistant robots精密関節駆動寝台の直動・傾斜駆動位置決めテーブルの駆動Precision joint driveBed lifting and inclination drivePositioning table drive医療機械 Medical EquipmentsCSFSHFFHA-C miniRSF-B miniRHRP-BX線分析装置光部品検査装置レーザ発振機光測定器表面検査装置光ディスク製造装置レーザーマーカーレーザ発振機X-ray analytical systemsOptical component inspection systemsLaser oscillation machinesOptical measuring instrumentsSurface inspection systemsOptical disc manufacturing systemsLaser markers位置決めテーブル駆動レンズ位置決め駆動レーザーミラー駆動プリズム駆動プローブ駆動センサー位置決め駆動Positioning table driveLens positioning driveLaser mirror drivePrism driveProbe driveSensor positioning drive光学関連機械 Optical MachinesCSFSHFHPFHP-FFHA-C miniRSF superminiRHRP-BKDULSA集光鏡調整機構電磁波マイク調整機構主鏡姿勢制御装置メンテナンス用ロボットアームCondenser mirror adjusting mechanismsElectromagnetic wave micrometer adjusting mechanismsPrimary mirror position control systemsRobot arms for maintenance servicingX-Y-Z軸駆動関節駆動機構X, Y, Z axis driveIndirect drive mechanisms望遠鏡 TelescopesCSFSHFHPGPHPGFHA-C miniRSF superminiRSF-B miniLALAHLBCマイクロエンコーダマイクロエンコーダMicro EncoderMicro EncoderMicro Encoder提供：大学共同利用機関法人国立天文台様マイクロエンコーダRP-BKDULSA